洁净储运工序流转载具管理
晶圆周转盒
Wafer Transfer Cassette · 晶圆盒 / 周转盒 / Cassette
用于晶圆在工序间流转与短期存放的周转容器，按片径与自动化上下料方式匹配。
规格与关键参数
| 材质 | PC / PP / PFA / 防静电材料，按洁净等级匹配 |
|---|---|
| 适配片径 | 4 - 12 英寸，槽数按需配置 |
| 关键控制项 | 片槽精度、颗粒与静电控制、耐温性 |
| 结构形式 | 标准周转盒、带盖密封盒、自动化机台适配盒 |
| 洁净处理 | 洁净清洗与洁净包装 |
材料说明
晶圆周转盒用于晶圆在不同工序间流转与短期存放，片槽精度与静电控制直接影响晶圆表面质量。圣通源按客户片径与自动化上下料方式匹配周转盒规格，常备品种可快速交付，随货提供材质证明与尺寸检测报告。
适用工艺场景
- 工序间晶圆流转
- 清洗与检测环节装载
- 仓储短期存放与运输
供应与服务说明
| 可供来源 | 多家洁净器具加工企业 |
|---|---|
| 常规交期 | 常备规格按库存交付 |
| 起订说明 | 支持单件与批量 |
| 可提供文件 | 材质证明、尺寸检测报告 |
以上为供应口径说明，具体品牌、等级、包装与交期以双方确认的供应方案为准。